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突围“卡脖子”深水区，莱普科技剑指“长坡厚雪”激光热处理赛道_蜘蛛资讯网

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子注入激光激活技术；2014年，自主研发了第一代光学系统，设计开发出适配的激光退火工艺；2015年，开发出适配的深磷激活特色工艺，形成6寸/8寸晶圆退火机台并进入客户量产线验证；2018年，公司生产的硅基超浅结退火机设备以及SiC激光退火设备通过工艺验证；2019年，8英寸IGBT激光退火机台通过量产验证。         &n

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发布时间：09:37:30