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子注入激光激活技术;2014年,自主研发了第一代光学系统,设计开发出适配的激光退火工艺;2015年,开发出适配的深磷激活特色工艺,形成6寸/8寸晶圆退火机台并进入客户量产线验证;2018年,公司生产的硅基超浅结退火机设备以及SiC激光退火设备通过工艺验证;2019年,8英寸IGBT激光退火机台通过量产验证。 &n
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发布时间:09:37:30